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상온에서 고체 상태로 존재하는 전이금속 전구체를 오가노 칼코게나이드 및 유기용매에 용해하여 액상으로 제조하고, 이를 액상 전구체로 이용하는 전이금속 칼코겐 화합물의 제조방법이 개시된다. 전이금속 칼코겐 화합물은 기판 상에 증착된다. 액상 전구체를 적용함으로써, 기존의 고체 상태의 칼코겐 화합물을 기화시키는 공정이 필요하지 않게 되고 공급량을 용이하게 제어할 수 있게 되므로 공정 단가를 낮춘다. 또한, 증착 두께를 제어하는 것이 용이하다.