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전이금속 디칼코게나이드의 제조 방법 및 제조 장치에서, 제조 방법은 칼코게나이드 기체를 전이금속 소스에 제공하는 단계 및 상기 칼코게나이드 기체가 제공된 상태에서 전이금속 소스를 가열하여, 결정구조를 갖는 전이금속 디칼코게나이드를 형성하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 대면적으로 균일한 전이금속 디칼코게나이드를 제조할 수 있다.